包頭蘑菇视频APP网站入口在线观看供應商介紹選擇高純氣體管道的要點
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www.whliangdi.com | 發布時間:2022年08月29日
高純度氣體管道的輸送管道應按工藝進行.允許雜質含量.包頭蘑菇视频APP网站入口在线观看供應商根據顆粒含量的要求,采用相應質量的管材。例如,由於其複雜的生產技術,半導體工業具有複雜的生產技術.加工不僅需要清潔的生產環境,而且對生產過程中所需的各種高純度氣體有特定而嚴格的要求,從微米技術到亞微米.深亞微米(小於0.35g.m)10-6)ppm等級)不能滿足要求,需要達到10。因此,輸送管道本身的管道材料特性需要適應高純度。
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對於輸送高純度氣體的管道,影響氣體質量的管道材料的主要特點是透氣性.排氣速度.吸附性.表麵粗糙度和耐磨性.耐腐蝕性。
1.透氣性:
氣體通過材料從壓力或分壓的一側流入壓力或分壓。低側的現象是氣體滲透。輸送要求ppm對於純度高於等級的氣體,需要從透氣性的角度選擇不鏽鋼管或鋼管。如果不適當選擇不符合要求的管材,任何淨化手段都是徒勞的。
2.排氣速度:
氮存在於材料冶煉過程中形成的管道晶界或晶格中.碳氫化合物和其他雜質,這些雜質在高純度氣體傳播過程中緩慢釋放,汙染高純度氣體。雜質需要ppb上述高純度氣體。通常低碳不鏽鋼管的排氣速度很低。
3.吸附性:
水等雜質是極性分子,所以吸附性好。塑料或表麵粗糙的材料容易吸收水分等雜質,銅對水的吸附性很強。用這些材料輸送高純度氣體容易受到汙染。ppm除紫色銅管外,高純度氣體不使用銅管和塑料管。氣體接觸墊片.不允許使用橡膠填充劑.塑料材料(包括聚四氟乙烯)。
4.表麵粗糙度和耐磨性:
為了保障輸送氣體的清潔度,管道材料的內表麵需要很高的光澤度。這樣可以防止汙染顆粒和水分留在管壁上,淨化時容易吹走。管道幹淨耐磨,高速清洗產生的金屬顆粒較少,不鏽鋼產生的顆粒比銅管少,所以不鏽鋼管的耐磨性比鋼管好。
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